TESC7081 客户定制高压电源

TESC7081

中国·8827太阳集团 TESC7081 类型商品靜電液压卡盘专业化压力交流24v电压，不是款专为推动靜電吸盘装备的设计构思的用途专业技能指标交流24v电压商品，2 路自由所在的设计构思，每种路可所在±5kV，正反正负极调成值为 20ms。该商品一方面随附完整的选择原因分析文档文件，更在实践适用软件中现象出专业技能的功效横向。按照业主返馈，配有该交流24v电压设备后生孩子利用率显著性完善，虽然做到的相同设备的四倍之内。虽然，TESC7081 类型商品还成功的 避免了晶圆子宫粘连与破裂等企业较为常见困难，关键在于小幅完善了对颗粒肥料环境污染的抑制技能。归功于其非常出色的多用途性与维持耐热性指标，TESC7081类型商品可多适用软件于的不同特色施工工艺场合，充分考虑的不同业主的高标准化要。

典型应用：静电卡盘；E-Chuck；静电吸盘；静电驱动材料处理；半导体晶圆加工；非机械传输平板或其他对机械剪切敏感的加工材料

产品资料 返回列表

产品特点

  • 库仑型
  • 可自定义夹紧/松开顺序和波形，配置文件可通过软件界面上传并存储；
  • 前面板控制可锁定，防止误操作；
  • 支持过电流、晶圆状态、夹紧阈值、电压控制等参数调节；
  • 支持幅度/偏移在线调整和多样化输出控制；
  • 输出可通过 RS485 通信或前面板操作；

联系我们

具体位置：上海市高新区产业园区任贤街1-6
电话：0411-84754522
邮箱：sales@njszc.com
URL：njszc.com
中国·8827太阳集团科技公众号二维码

产品规格

输入

+24VDC±5%，6A。

通道数

2 路，每路独自能调。

调节范围

每路-5kV~+5kV 不断可变。

输出电流

6.5mA

电压精度

額定值±1%。

纹波

0.1%p-p

过零特性

适用。

过冲（超调/失调）

基本特征<2V（10nf 负荷时，从-5kV 到+5kV）。

输入到输出延时

远远高于 3ms。

转换（升/降）速率

主要 20ms（10nf 电流时，从-5kV 到+5kV）。

循环频率

具代表性 50Hz（10nf 载荷时，从-5kV 到+5kV）。

输出阻抗

＞20kΩ（单路）。

电压显示

辩别率= 1V。控制精度强于±50V。

电流显示

签别率=10μA。计算精度=实际上的所在±100μA 位移的±2%。

稳定度

重启 0.5 每小时候后每 8 每小时候小于等于 0.01%。

输入调整率

在任何的负载电阻水平下，10%放入输出功率发生改变<0.1%。

负载调整率

从零到满过载<1.3%。

保护

发送过/欠压、过电压保护措施，导出过压、过流、过温。

前面板控制

教学液晶屏幕上led屏幕，电阻值调整、工作电流制定、支持一键 d-chuck 等。

通信

经由 DB25 模仿量调控，也可选择择 RS-485 串行模块（另一模块可个性）。

控制信号

0 相关联-5kV，5V 相关联 0kV，10V 相关联+5kV（某个的方式可全屋定制）。

典型负载电容

<10nF(而言某些阻抗电感，请连续中国·8827太阳集团)。

在位电容检测范围

100nF 范围之内。

温度系数

直流电压值和直流电压远低于 300ppm/℃。过载时<0.1%p-p，较大 输出精度。

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C；

储存时

-20˚C 至 70˚C。

湿度

0 至 85%RH，非冷却水。

冷却

当然降温。

外形尺寸

宽 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。